安博集团于1994年成立办事处，2007年深圳A股上市。济南、广州、南京、重庆分公司相继设立，子公司浙江汉声、上�？旅�、香港安博、越南安博、韩国安博、浙江柯茂陆续创立。这一切体现了安博人27年来用汗水辛勤耕耘的成果。
跨越27年的历史，开启全球性企业新未来
用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。
安博独特型线设计，上海，台湾，制造。
较之前的版本节能25%，配置有省电模式。
带有加热系统避免制程物沉积。
优化的尺寸，即插即用。
产品样本和技术手册
名称
发布时间
下载
2021-08-17
产品外观图
